EDX-LE能量色散X射線分析是常用的分析手段，在電子與物質(zhì)相互作用時(shí)，采用能聚焦的入射電子可以激發(fā)初級(jí)x射線，不同元素發(fā)射出來的特征x射線波長不同，能量也不同。利用x射線能量不同而展譜一般稱為x射線能譜分析或能量色散x射線分析，所用設(shè)備通常稱為能量色散譜儀。
EDX-LE能量色散X射線分析的主要單元是半導(dǎo)體探測器及多道脈沖高度分析器，用以將特征x射線按能量展i｝｝Er7，5的分辨率遠(yuǎn)不如波長色散譜儀，它有分析速度快的優(yōu)點(diǎn)，和通用的x射線波長色散譜儀相比可提高10倍，如果進(jìn)行物相鑒定，只需幾分鐘就可以得到被測物質(zhì)的全部衍射花樣。
X射線熒光分析技術(shù)（XRF）作為常規(guī)、快速的分析手段，開始于20世紀(jì)50年代初，經(jīng)歷了50多年的不斷發(fā)展，現(xiàn)在已成為物質(zhì)組成分析的方法之一。由于波長色散配備較大功率的X光管，熒光強(qiáng)度高；因此，波長色散儀器占用較短的測量時(shí)，便能達(dá)到較高的測量精度。
X射線熒光分析技術(shù)可以分為兩大類型：波長色散X射線熒光分析（WDXRF）和能量色散X射線熒光分析（EDXRF）；而能量色散型又根據(jù)探測器的類型分為（Si－PIN）型和SDD型。在不同的應(yīng)用條件下，這幾種類型的技術(shù)各有其突出的特點(diǎn)。
目前，X射線熒光分析不僅材料科學(xué)、生命科學(xué)、環(huán)境科學(xué)等普遍采用的一種快速、準(zhǔn)確而又經(jīng)濟(jì)的多元素分析方法。也是X射線熒光光譜儀也是野外現(xiàn)場分析和過程控制分析等方面的儀器之一。同時(shí)，成為地質(zhì)、冶金、建材、石油化工、半導(dǎo)體工業(yè)和醫(yī)藥衛(wèi)生等領(lǐng)域的重要分析手段。
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