JEOL 日本電子 掃描電子顯微鏡 SEM-EDX

掃描電子顯微鏡　JSM-6510系列

　　JSM-6510是一款高性能低價格的掃描電子顯微鏡，分辨率可達3.0nm.可按用戶要求定做的操作接口便于用戶直觀操作儀器。Smile　Shot？軟件保證得到*電子光學(xué)參數(shù)。JSM-6510的LGS型大樣品臺和GS型普通樣品臺可分別裝6英寸直徑和32mm直徑的樣品。

　掃描電子顯微鏡主要特點

　　1.強大的電子光學(xué)系統(tǒng)，簡單操作

　　I　設(shè)計的超級圓錐型物鏡，保證3nm的分辨率。很容易得到高質(zhì)量照片。

　　II　廣域掃描線圈可以得到zui低5倍的放大倍數(shù)從而提高觀察樣品的效率。

　　III　優(yōu)秀的電子光學(xué)系統(tǒng)可以在大束流下形成小束斑，有利于微區(qū)分析。

　　2.高分辨率

　　I　JSM6510系列超級圓錐形物鏡，在工作距離8mm時的分辨率為3nm，超級圓錐形物鏡

　　2的外形設(shè)計可以做到短工作距離情況下樣品仍然可以大角度傾斜。

　　3.全自動電子槍

　　2　I　JEOL開發(fā)的全自動電子槍能夠產(chǎn)生極小電子束源，只要選擇好加速電壓，就可以進行觀察或成分分析。

　　II　電子槍偏壓是調(diào)節(jié)電子槍亮度的重要部件。JEOL的無縫自給加壓系統(tǒng)能隨著電壓變化隨時調(diào)整偏壓，使得無論選擇哪個加速電壓，都能得到*亮度。

　　III　JEOL*的像散記憶功能能夠自動糾正隨加速電壓或工作距離改變而產(chǎn)生的像散。

　　1KV　5KV

　　10KV　20KV

　　4.多圖顯示模式

　　3　I　主顯示區(qū)可以同時顯示兩幅實時圖像，分別為二次電子像和背散射電子像，參考區(qū)也可顯示2幅實時圖像，例如二次電子圖像，背散射電子圖像或CCD相機圖像。

　　II　雙實時顯示模式可以用于不同信號圖像的對比，用戶可在觀察表面形貌的同時了解樣品的成份分布情況。

　　III　選用多種圖像顯示模式時，點擊“PHOTO”按紐可同時獲得并存儲2或3幅全屏尺度圖像。

　　5.簡單易懂的操作接口及菜單

　　I　操作接口簡單，直觀，默認的操作接口顯示了zui常用的功能按鈕，并以簡單圖文標明，點擊鼠標即可操作所有功能。

　　II　實時量測，圖片上的長度和角度等結(jié)構(gòu)細節(jié)能在顯示器上進行測量。

　　6.可變焦聚光鏡修正

　　I　做表面觀察和元素分析等不同應(yīng)用時，選擇合適束流非常重要，一般是通過聚光鏡與物鏡光闌來控制電子束流的。如果在調(diào)整束流過程中，焦點和觀察區(qū)域位移變化很小，調(diào)整起來會比較方便。JEOL*的可變焦聚光鏡可以保證這一點。

　　掃描電子顯微鏡小束流中等束流大束流

　　7.全對中樣品臺

　　I　當(dāng)樣品臺傾斜時，全對中樣品臺可使圖像位移和焦點變化zui小。使用此樣品臺可多方向觀察粗糙表面樣品，采用一些不同角度攝取的圖片組成立體圖片，可通過立體圖片觀察深度。

　　8.低真空SEM

　　I　低真空掃描電鏡，除了包括高真空模式外，還包括低真空模式，在低真空模式下，不導(dǎo)電樣品以及容易放氣的樣品都可以直接觀察。結(jié)合JEOL*的冷凍干燥技術(shù)，可在低真空模式下快速觀察含水樣品。