當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 日本電子 JEOL > 掃描電子顯微鏡 > JSM-7610FPlus熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
簡(jiǎn)要描述:JSM-7610F熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)改進(jìn),實(shí)現(xiàn)了分辨率(15kV 0.8nm、1kV 1.0nm)的進(jìn)一步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒(méi)式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過(guò)r-filter分選信號(hào)等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。
產(chǎn)品分類(lèi)
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熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡特性:
半浸沒(méi)式物鏡
半浸沒(méi)式物鏡在樣品周?chē)纬蓮?qiáng)磁場(chǎng),因而可以獲得超高分辨率。
High Power Optics
High Power Optics 是*的電子光學(xué)系統(tǒng),既實(shí)現(xiàn)了高倍率觀察又能進(jìn)行多種分析。
熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)梢垣@得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)‵EG)的探針電流,光闌角控制鏡(ALC)在探針電流增大時(shí)也能保持小束斑,兩者組合起來(lái)能提供200 nA 以上的探針電流。強(qiáng)大的High Power Optics 系統(tǒng),從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD解析可以一直使用高分辨率的最小物鏡光闌而不需要改換。
浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍銃
浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍通過(guò)和低像差聚光鏡組合,可以有效地收集從電子槍內(nèi)發(fā)射的電子。
光闌角控制鏡(ACL)
光闌角控制鏡(ACL)配置在物鏡的上方,在整個(gè)探針電流范圍內(nèi)自動(dòng)優(yōu)化物鏡光闌的角度。因此,即使照射樣品的探針電流很大,與傳統(tǒng)方式相比,也能獲得很小的電子束斑。
即使探針電流很大,束斑直徑也很小
長(zhǎng)時(shí)間分析時(shí)穩(wěn)定度也很高
柔和電子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式
GB 模式的效果
GB 模式在低電壓下提高分辨率
左圖一般模式,右圖GB模式:
增強(qiáng)了的低加速電壓下的分辨率
r-過(guò)濾器
LABE檢測(cè)器(選配件)
利用LABE 檢測(cè)器獲取低角度背散射電子像
擴(kuò)展性
能譜儀(EDS)
波譜儀(WDS)
陰極熒光系統(tǒng)(CL)
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